样品是一个块体，要做样品各个成分的定量分析
XRF、EDS、XPS、ICP 哪一种方法更好，能更准确地分析含量？
请高手出来指教一下哈！

EDS 是可以做成分分析，但做的是微区的成分分析，而且是半定量的，而微区的成分分析结果不可能代表你的块体。

半定量准确性比定量分析稍差，而且检测极限有点高！如果样品里面待测元素量很低可能测不出来。之前我测过稀土含量，明明其它测试都测出来有的，EDS 结果是零。这个时候可以测 ICP 试试，ICP 测的杂质元素含量，也就是微量和痕量。

XPS 可以测同一种元素不同价态的含量，不是做成分分析的。

XRF 是可以做体相的成分分析，而且结果能代表整体，有说服力；含量比较大的，超过 5% 以上的比较准。
当然啦，做原子吸收或者发射光谱也可以做定量分析的。