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AFM、SEM 与激光粒度仪,在测量精度上有哪些不同?
AFM、SEM 与激光粒度仪,在测量精度上有哪些不同?
2019-03-29 来源:网络
关键字:SEM 激光粒度仪 AFM
问
求助!!AFM 统计的平均直径是三维平均直径吗?和激光粒度仪的有啥不同?
我想做一个 300μm 左右的颗粒,厚度大概在 100-300 微米左右,可以用 AFM 表示此颗粒群的平均直径和平均厚度吗?SEM 扫描电镜只可以出二维的平均直径,我比较想测量体积平均直径!谢谢大家!
我看到有的人说几十微米厚就做不了 AFM?用 AFM 做出的高度数据,是不是无法与其俯视面的直径结果对应起来?就是说,我只能得到一个俯视的直径分布和一个侧面的平均高度,而不是一个颗粒具有完整的数据(直径+高度)?
答
激光粒度仪是通过溶剂化后的粒子对激光的散射程度来推算出粒子大小的。AFM 测量精度在垂直方向最高,但侧向尺寸依赖与针尖的尺寸。SEM 无法测量高度,但侧向尺寸的精度应该是最高的。你的粒子尺寸很大,AFM 和 SEM 都可以保证误差很小。如果你能够在基板上铺单层微米粒子,如果粒子又是比较圆形的球体的话,SEM 最方便。其次才是 AFM, 不过你也可以两个都用,来比较它们的数据,如果两种方法测量的直径差不多的话,选用 SEM 测直径,用 AFM 测量的高度数据,这样比较准确。
AFM 的悬臂梁适合的振动幅度不超过 6um, 因此,你的几百 um 的样品,SEM 是最合适的。
你在基板上铺上一层粒子,如果能将基板分开成两片,用 SEM 照断面,就能看出粒子的高度。
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