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SEM 扫描电镜想要拍膜截面,请问怎么制样?
SEM 扫描电镜想要拍膜截面,请问怎么制样?
2019-03-29 来源:网络
关键字:SEM 扫描电镜 膜截面
问
我的样品的膜很薄,柔软,用导电胶贴在样品台上看截面总是只看到膜的平面,看不到截面。可能太薄了,也有可能不平整。只能看到导电胶那一层面,膜的截面被覆盖掉了。想问问大家,膜贴在导电胶上有什么技巧吗?是不是要高出导电胶一点,还是和导电胶齐平,还是在导电胶下面一点?谢谢大家了!
答
1、导电胶是软的,您的膜也是软的,所以准备样品按压用力不均匀会导致变形,可以尝试膜比导电胶高出一些。实在不行就需要环氧树脂固化,然后获得截面得到清晰的断面。
2、截面用液氮脆断,实在还不行可以考虑 FIB。
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