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检测膜层的厚度、硬度、结合力、摩擦系数,用什么仪器和方法?
检测膜层的厚度、硬度、结合力、摩擦系数,用什么仪器和方法?
2019-04-01 来源:网络
关键字:SEM 台阶仪 硬度计 纳米压入仪 划痕仪 摩擦磨损试验机 金属膜 厚度 硬度 结合力 摩擦系数
问
大家有做镀膜的吗?
现在我手上有两种试样:
一种是在钢基底上镀的金属膜,厚度应该大于 10μm;
另外一种是在玻璃上镀的 Cr 膜,厚度才几百纳米。
请问,这两种试样,要比较准确地检测膜层的厚度、硬度、结合力、摩擦系数,应该用什么方法啊?
请各位回答的大牛们,尽量详细些哈!多谢多谢啦!
答
钢基底上镀的金属膜的厚度可以用台阶仪测量,也可以用 SEM 截面照片测量;
硬度可以用维氏显微硬度计和纳米压入仪测量;
结合力可以用划痕仪测量;
摩擦系数可以用摩擦磨损试验机测试。
玻璃上镀的 Cr 膜的厚度也可以用台阶仪或 SEM 截面照片测量,硬度只能用纳米压入仪测量,结合力和摩擦系数最好用纳米压入仪设备带的附件(微划痕仪与微磨损仪)测量。
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