原子力显微镜(无)
山东省计量检测重点实验室
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山东省
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仪器参数

1.X、Y、Z方向测量精度误差不超过1%。2.分辨率:X、Y方向1nm,Z方向0.1nm。3.工作模式:轻敲(Tapping)模式、智能(ScanAsyst)模式、接触(Contact)模式、相位(Phase)模式、力曲线(Force Curve)模式、横向力模式(LFM)、磁力(MFM)、Lift Mode、静电力(EFM)、表面势测量(KPFM)、液下成像模式。4.X、Y方向扫描范围103um,Y方向扫描范围±14.8um。
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