电子探针(无)
山东科技大学
日本电子,JXA-8230
山东省
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仪器参数

二次电子分辨率6nm波谱通道数3CH分析元素范围B-U加速电压范围 0~30kV探针电流范围 10-12-10-5A束流稳定性 ±0.5x10-3/h
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