检测范围
二次电子像，背散射电子像，两种图像混合像；可变压力模式；EDS和XRF分析
仪器参数
30KV加速电压二次电子分辨率：3.0nm
3KV加速电压二次电子分辨率：7.0nm
30KV加速电压背散射电子分辨率：4.0nm（低真空模式）
5KV加速电压背散射电子分辨率：10.0nm
能谱分析位置：TOA=35°；WD=10mm；
能量分辨率（MnKa处）：探头优于126eV
轻元素分辨率（C元素）：优于52eV
检测元素范围：Be4-Pu94
有效晶体活区面积：≥10mm2
仪器特色&服务特色
扫描电镜图片
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