电子束曝光系统(Electron Beam Lithography)
电子科技大学
XENOS Semiconductor Technologies GmbH,XeDraw2采用电子束曝光,实现10nm以下纳米图形的精确写入,写入速度为10MHz,支持GDSII,BMP和DXF等文件格式输入
四川省
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检测范围

采用电子束曝光,实现10nm以下纳米图形的精确写入,写入速度为10MHz,支持GDSII,BMP和DXF等文件格式输入,可以制备百纳米尺寸的图形

仪器参数

图形的最小尺寸需达到10nm以下

仪器特色&服务特色

国防科工局十二五预研项目,国家自然基金项目等。
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