真空镀膜设备(发光材料制备测试系统)(-)
湘潭大学
沈阳科友真空技术研究所,定制
湖南省
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检测范围

有机无机材料的真空镀膜

仪器参数

极限真空:小于:2﹡10-4Pa,手套箱水氧含量少于1PPM,厚度显示分辨率达0.1nm,速率显示分辨率达0.01nm
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