纳米压印光刻设备(-)
国防科学技术大学
江苏无锡英普林,YPL-NIL-SI400
湖南省
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仪器参数

1.批量加工纳米图形、纳米电极;2.温度:室温-250度;3.紫外曝光系统;4.真空范围。
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