场发射扫描电子显微镜(Scanning electron microscopy)
天津大学
日本日立,S-4800
天津市
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检测范围

配备新型透镜系统,提供了高分辨模式,高束流模式。大工作距离模式,磁性样品模式等多种工作模式。采用电子束减速功能,提高了图象质量。采用新型E×B式探测器,可选择接受二次电子像或背散射像。

仪器参数

分辨率: 1.0nm(15kv),2.0nm(1kv)。放大倍率:20~80万倍
加速电压:0.5~30kv,0.1kv/步。束流强度:1pA~2nA
样品室: 最大样品尺寸100mm
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