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射频磁控溅射设备
北京工业大学
美国丹顿，美国丹顿 Discovery 635
北京市
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检测范围

高真空溅射金属材料，厚度可以从10nm-2um

仪器参数

高真空溅射金属材料，均匀性小于5%

仪器特色&服务特色

支持机电学院做微波传感器
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