椭圆偏振仪(ellipsometer)
北京印刷学院
HORIBA Scientific,UVISEL-IN-SITU
北京市
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检测范围

测量样品的偏振参量信息等,可用于在线监测,也可用于离线的样品测试;可使用不同大小的光斑探测样品;

仪器参数

光谱范围:高稳定性的 150 W;氙灯光源:光谱范围:190 –880 nm, 1200 gr/mm 的光栅;入射角度全自动可变:40-90度,步长0.05度,精度0.01度;Psi和Delta的精度很高:空气中,当: Psi=45度;Delta=0度,在190-880nm范围内:Psi= 45: +/- 0.01° ,Delta = 0 +/- 0.03°;在线单波长测量速度好于10ms/点,50ms/点可达到非常高的信噪比;

仪器特色&服务特色

国家自然基金、北京市自然科学基金
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