离子注入机(Ion implanter)
北京市辐射中心
北京师范大学,3-JYZ8010
北京市
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所有仪器

分析仪器

检测范围

用于离子注入材料表面改性,以提高材料表面的硬度、光洁度,抗氧化、抗疲劳、抗磨擦磨损等能力,获得优良的表面性能。

仪器参数

直径800mm卧式真空室,竖直,水平和45度三个MEVVA离子源,加速电压20-80KV离子种类,各种可导电的固态元素的离子,平均离子流强度5-10mA

仪器特色&服务特色

为首都航天机械厂离子注入处理了加工高温合金的金属丝锥数百套,解决了火箭发动机加工难题;离子注入处理织带机编钩针,质量媲美进口德国产品;离子注入麻花钻头,实现工业应用
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