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形貌仪(Is improving)
清华大学
KLA-TEMOR，HRP-350
北京市
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可用于50-300mm晶圆的dishing, erosion，台阶高度，表面粗糙度测量。

仪器参数

可用于50-300mm晶圆的dishing, erosion，台阶高度，表面粗糙度测量。

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