检测范围
1.观察方式：普通光：明场、偏光及微分干涉衬观察；激光：共聚焦扫描方式明场观察。2.总倍率：108x ～ 17,280x；3.分辨率：X/Y平面不低于0.12μm，Z轴显示分辨率不低于1nm。
行程 10 mm
内置比例尺 0.8 nm
移动分辨率 10 nm
显示分辨率 1 nm
重复性 50x: σn-1=0.012 μm
仪器参数
1.观察方式：普通光：明场、偏光及微分干涉衬观察；激光：共聚焦扫描方式明场观察。2.总倍率：108x ～ 17,280x；3.分辨率：X/Y平面不低于0.12μm，Z轴显示分辨率不低于1nm。
行程 10 mm
内置比例尺 0.8 nm
移动分辨率 10 nm
显示分辨率 1 nm
重复性 50x: σn-1=0.012 μm
正确性 0.2 ＋ L/100 μm 以下（L＝测量长度μm） 00x: 3σn-1=0.02 μm
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