检测范围
利用准分子脉冲激光器产生高功率脉冲激光与靶材作用产生等离子体，等离子体定向膨胀发射沉积成低维材料，主要用于制备各种薄膜材料。
仪器参数
1、激光波长：KrF248nm；2、最高输出能量：700mJ；3、最高频率：10Hz；4、能量稳定性：1%5、靶位数量：4；6、靶材尺寸：Φ25mm~Φ50mm，厚度为4~6mm；7、最高加热温度：800℃；8、最高本底真空：5E-6Pa。
仪器特色&服务特色
利用准分子脉冲激光器产生高功率脉冲激光与靶材作用产生等离子体，等离子体定向膨胀发射沉积成低维材料，主要用于制备各种薄膜材料。
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