聚焦离子双束电镜系统
西安交通大学
FEI,Helios Nanolab 600i
陕西省
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仪器参数

电子束系统:着路电压范围350V-30KV/最佳工作距离15KV下0.9nm/1KV下1.4nm/着路电压范围500V-30KV/束流强度1pA-65nA 、束流密度65A/cm2
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