压痕测试仪
哈尔滨工业大学
安捷伦,G200
黑龙江省
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检测范围

是用于纳米力学测试的最精确、最灵活、最容易使用的仪器。电磁驱动器具有极佳的力和位移动态范围,可测量6个数量级的变形。其应用包括半导体、薄膜和MEM;硬质涂层和DLC膜。

仪器参数

最大载荷:500mn;最大压痕深度:500um;最大划痕力:500mn;最大划擦深度:500nm;最大划痕长度:100mm;最大划痕速度:100nm/s
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