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多功能等离子体浸没离子注入装置(Multi-purpose plasma immersion ion implantation and deposition facility)
哈尔滨工业大学
哈工大自制，*
黑龙江省
我们目前尚未与哈尔滨工业大学提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过 点击此处 提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：

检测范围

材料表面改性，等离子体浸没离子注入,金属材料表面改性处理，金属沉积快速成型和金属弯板

仪器参数

真空室体积：Φ1000×1200mm
高压幅值：5 - 40KV
RF功率：0.1 - 2KW
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