磁控溅射系统(Magnetron sputtering system)
北京科技大学
沈阳慧宇真空技术有限公司,非标产品
北京市
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检测范围

用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备

仪器参数

溅射薄膜,包括氧化锌、PZT、ITO等
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