小型分子束外延系统(Atomic Layer Deposition System)

仪器型号 Beneq公司 TFS-200
所属单位 武汉大学
所在地区 湖北省
所属分类 分析仪器 · 其他通用分析仪器
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仪器介绍

检测范围

可以高保形型,原子层厚度逐层生长薄膜材料

仪器参数

三个液态源,两个固态源,两路气态源