检测范围
1kv分辨率可达1.3nm；日立专利的ExB设计，不需喷镀，可以直接观测不导电样品；
Upper和Top探头均可选择接受二次电子像或背散射电子像；
可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能；
标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能；
仪器的烘烤维护及烘烤后
仪器参数
二次电子分辨率： 1.0nm （加速电压15kV、WD＝4mm）
1.3nm （加速电压1kV、WD＝1.5mm）
加速电压 0.1～30kV
观测倍率 20～8000,000(底片输出)
60～2,000,000（显示器输出）
马达驱动 5轴 REGULUS样品台
行程 X 0～50mm 0～110mm
Y 0～50mm 0～110mm 0～80mm
Z 360°
T -5～70°
R 1.5～30mm
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