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电子能谱仪
北京理工大学
PE公司物理电子部，PHI5300
北京市
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分析仪器

检测范围

主要用途:主要用于有机高分子材料、金属及无机非金属材料表面元素组成定性、定量及其化学结合状态的分析。 功能特色:材料表面100?深度范围内的分析；变角分析技术可获得元素组成及结合状态随深度分布的信息。

仪器参数

技术指标:分辨率：0.8eV（Mg靶，Ag 3d5/2）
灵敏度：80,000 CPS （Mg靶，Ag 3d5/2）
主真空室：1×10-8Pa
位置灵敏检测器：成倍提高灵敏度、采集速度快
角分辨ESCA：10°～90°
双X-射线靶：Mg靶、Al靶
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