有机化学气相沉积设备
山东大学
中科院沈阳科学仪器有限公司,ZDF-5227AC220V/50HZ
山东省
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检测范围

制备II-VI族和III-V族半导体薄膜材料

仪器参数

有能够将不同反应气体分别送入反应室、有助于反应气体形成良好的层流
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