检测范围
可用于一下研究工作：各种信息功能材料和器件的光学常数测量和光谱学特征分析；薄膜材料的表面、界面特性、厚度以及粗糙度分析；信息功能材料的组成测量及分析；半导体材料的实时、在线工艺质量检测，评估和分析；物理化学的吸收；激光、粒子束与材料相互作用引起的损伤；生
仪器参数
1.光谱范围：210nm-2000nm 2.光谱分辨率：优于1nm 3.光源：稳定的氙灯，寿命﹥1000小时 4.载物台：150mm直径载物，可很好地单独调节高度和倾斜度，5.入射角：40度-90度可调，角度分辨率优于0.01°6.探测器：光电倍增管，有效响应范围：200-2100nm
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