检测范围
场发射扫描电镜是利用聚焦电子束与样品表面作用产生的二次电子、背散射电子等物理信号得到表面形貌图像以及样品相关信息。该电镜适用于分析和观察样品表面及近表面形貌及结构；其较高的电子束流，更适合与X射线能谱仪及背散射电子衍射仪相结合，对样品的组成、表面织构等做出
仪器参数
二次电子像分辨率：1.0nm（15kV），1.9nm（1kV）
电子枪：LaB6热场发射电子枪
加速电压：0.1 ～ 30kV
束流范围：12-12～10-7 A
图像放大倍数：12～1000,000×（二次电子像），100~1000.000×（背散射电子像）
2. X射线能谱系统
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