冷场发射扫描电镜
山东大学
日本电子JEOLLTD,JSM-6700FJSM-6700F
山东省
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所有仪器

分析仪器

检测范围

用于固体材料表面形貌的观察

仪器参数

二次电子像分辨率:1.0nm(15KV),2.2nm(1KV);背散射电子像分辨率:3nm(15KV,WD=8mm);放大倍数:×25to×650,000;加速电压:0.5KV to 30KV;电子束流:10-13Ato2×10-9A;数字图像采集系统分辨率:1280×1024
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