光学轮廓仪
山东大学
美国Veeco公司,Veeco NT93000.1nm
山东省
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行业专用仪器

检测范围

粗糙度参数(两维及三维) 波纹度参数(两维及三维) 未滤波参数(两维及三维) 滤波参数(两维及三维) 多区域分析 形状去除

仪器参数

垂直测量范围:0.1nm-10nm 垂直分辨率:<1A Ra 最大垂直扫描:速度25μm/sec 横向分辨率:0.08-13.1μm 可视区域:8.24mm-0.05mm 反射率范围:0.3%-100%
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