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LMBE450A激光分子束外延系统(*)
东南大学
中科院沈阳科学仪器研制中心有限公司，LMBE450A
江苏省
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检测范围

各种金属、氧化物薄膜的制备以及外延生长。

仪器参数

1.极限真空优于：5.0x10-8Pa（经烘烤除气后）2.真空漏率小于2.0x10-8Pa.l/S 3.系统从大气开始抽气，20分钟可达到5x10-3 Pa
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