多功能离子减薄仪
陕西师范大学
德国徕卡,EM RES102
陕西省
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检测范围

对无机薄片样品进行离子减薄,使得薄片样品可被透射电子穿过,适合TEM透射电子显微镜观察;对无机块状样品进行离子束抛光、离子束刻蚀,样品表面离子清洗及斜坡切割,便于SEM扫描电子显微镜观察样品内部结构信息。

仪器参数

1. 具有2把离子枪,离子束能量为0.8keV-10keV,可分别±45°倾斜,样品台倾斜角度-120°至 210°,离子束加工角度0°至90°,样品平面摆动角度
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