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联合真空薄膜制备平台
北京理工大学
苏州硕光科技有限公司，非标
北京市
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检测范围

/物理气相沉积（有机小分子，金属（铝，金，银等），氧化物薄膜等）

仪器参数

热蒸发，磁控溅射双腔室，手套箱联合平台
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