检测范围
接触模式(Contact Mode AFM); 轻敲模式(AC Mode AFM)；定量相位成像模式(AFM Phase);高次谐波成像模式（Dual AC）; 摩擦力模式(laterial Force Microscopy, LFM); 静电力显微技术(Electric Force Microscopy, EFM); 磁场力显微技术(Magnetic Force Microscopy, MFM) ;开尔文
仪器参数
1.扫描器类型：三轴分离全程闭环平板式扫描器 2.扫描器范围：XY轴90um、Z轴大于15um，使用SLD作为定位激光 3.扫描器噪音：XY轴闭环精度0.5nm, 非线性度小于0.5% in a bandwidth of 0.1Hz to 1kHz; Z轴闭环精度小于0.25nm 非线性度小于0.05% in a bandwidth of 0.1Hz to 1kHz; Ultra-Quiet Z Drive驱动电压噪音: Voltage noise Adev <70μV in a bandwidt
仪器特色&服务特色
已发表多篇SCI论文
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