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准分子激光器
山东大学
相干公司，COMPexPro2015W
山东省
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检测范围

用于配套激光分子束外延系统进行高质量氧化物，半导体，金属等功能薄膜的制备，也可以用于光致发光，材料表面改性等研究。

仪器参数

激光波长：248nm 单脉冲能量>=450mJ 最大输出频率>10Hz;最大输出功率>5W；能量稳定性：1%；脉冲宽度
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