激光干涉仪 -平面系统
山东大学
美国ZYGO公司,GPIXP/DXP/D
山东省
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所有仪器

行业专用仪器

检测范围

适用于六寸一下透明晶体晶片的面型、面夹角及均匀性测试。要求晶片双面抛光,两面留有30分夹角

仪器参数

透射镜 反射率:4% 面型:1/20 波长 准球面镜:f/1.5 1/20波长
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