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等离子体增强气相沉积系统
所在单位：	宁波工程学院
品牌/型号：	浙江汇锦梯尔镀层科技有限公司，磁靶/真空系统/冷却系统
所在地区：	浙江省
仪器说明：	我们目前尚未与宁波工程学院提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过点击此处提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：票正规发票合委托合同保交易担保退不满意退款优优选服务商

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可以在刀具、模具、各种机械零件和塑料零件表面镀覆TiN、CrN、TiAlN、CrAlTiN超硬镀层，以及DLC金刚石和GiC类石墨高硬度自润滑镀层。并可以镀制Ti/Cr/Ag/Au等金属薄膜。镀层厚度3-6μm，硬度20-40GPa，自润滑薄膜摩擦系数小于0.2

真空腔直径650mm，高度650mm。四个溅射靶。

已用于陶瓷类薄膜，导电薄膜等

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