仪器参数
原子氧束流密度：＞2×1015AO/cm2.s（在距中性化靶100-120mm处）； 紫外波长：250nm～400nm； 紫外辐照强度：不小于5个太阳数； 样品台尺寸：Φ150mm； 样品台可升降范围：300mm； 样品台温度范围：-150℃～+150℃连续可调，控温精度±3℃； 真空容器外部尺寸：Φ1000mm×2000mm，真空容器两端开门； 工作真空度：1.3×10-2Pa； 极限真空度：1×10-4Pa； 热沉内径Φ800mm，长1200mm； 残余气体分析仪：质量数200amu。
分享
