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显微镜
桂林理工大学
NT MDT，Ntegra Prima SPM
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检测范围

专门从事用于探索纳米技术领域的高科技设备的研发和制造

仪器参数

可获得的扫描范围：100x100x12 μm；可更换的底部扫描器(100x100x12μm)和一个顶部扫描器(100x100x10μm)，使总的扫描范围达到：200x200x22μm；XY非线性：校正后，峰峰值0.05%，在整个扫描范围内，X-Y平面的定位精度保持在10-20纳米内；光学垂直方向分辨可达0.4um (使用高数值孔径的头部), 可倒置观察样品
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