半导体参数测试系统(Semiconductor Parametric Test System)
兰州大学
森美协尔国际有限公司,keithley 4200-SCS
甘肃省
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物理测试

仪器参数

SMU电流测量范围/精度/分辨率优于100fA-100mA/30pA/100fA,电压范围200V-1uV;PA电流分辨率0.1fA;电压测量精度优于100 uV;系统最小脉冲发生器宽度优于10ns;且可以输出任意波形;系统脉冲I-V模式最短时间优于60ns@10V, 140ns@40V;C-V模块频率范围优于1KHz-10MHz
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