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纳米压痕力学测试系统(Nano Indenter)
兰州大学
安捷伦（Agilent）科技有限公司，Nano G200
甘肃省
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检测范围

用于测量纳米尺度的硬度与弹性模量，研究或测试薄膜等纳米材料的接触刚度、蠕变、弹性功、塑性功、断裂韧性、应力-应变曲线、疲劳、存储模量及损耗模量等特性。适用于有机或无机、软质或硬质材料的检测分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩绘釉漆，光学薄膜，微电子

仪器参数

最大加载载荷：500mN；载荷分辨率：500nN；可实现的最小载荷：1μN；位移分辨率：0.3nm； 可实现的最小位移：0.5nm；可实现的最大位移：500μm。
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