检测范围
利用尖锐探针在表面上方扫描来检测样品的一些性质。原子力显微镜具有接触、轻敲等多种工作模式。可在各种环境（真空、大气、控温等）下工作，适用多种样品对象，能够进行原子级成像与操纵。
仪器参数
扫描部分：（1）横向扫描范围： Lateral scan sizes: 100 微米 ( 大探头 ) 、 10微米( 小探头 ) 100 mm (L), 10 m m(S) 纵向扫描范围：6 微米 ( 大探头 ) 、 0.7 微米 ( 小探头 )。（2）噪音水平：垂直方向少于1nm RMS，水平方向少于1nm RMS；（3）分辩率：X-Y方向低于0.5 nm；Z方向低于0.3 nm。控制部分： 智能化全驱动针尖逼近，带有漂移追踪系统；闭环回路控制扫描头；高性能数字信号处理器
分享
