多弧离子镀膜机及其附件
华南理工大学
无,定制*
广东省
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检测范围

离子镀硬质膜、功能膜

仪器参数

工作电流:60~100A;反应气体压强:0.1-10Pa;基体负偏压:-50~500V;基体沉积温度:100~200℃
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