仪器参数
1、清洗后玻璃表面不能有灰尘、残留物、玻璃碎片、油污。肉眼检查无污物或残留物以及用电子显微观测无玻璃碎片。清洗后正面不允许有划伤损伤。
2、具体检测标准：
测接触角法,每片玻璃基板取5点测量，洗净后接触角小于15°；
粒子数：洗净后表面不存在1um以上粒子；
其他颗粒度要求：A.≥0.5?m的颗粒,当初始≥500个时，去除率≥90%；100～500个时，去除率≥85%；＜100个时，残余颗粒数≦15个；B.≥0.3?m的颗粒，当≥500个时，去除率≥80%；100～500个时，去除率≥70%；＜100个时
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