检测范围
该仪器具有超高分辨率，能做各种固态样品表面形貌的二次电子象、反射电子象观察及图像处理。 具有高性能x射线能谱仪，能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。
仪器参数
V下10nm，1kV下20nm），背散射电子探头（30kV下3.5nm）；在可变压力模式用可选BSE；压力范围：低真空10-400 Pa，高/低真空自动切换；视场：在8.5 mm的分析工作距离（AWD）上，直径6 mm，在最长的工作距离，对角线测量，40 mm；物镜工作距离：自由工作距离从2 mm到145 mm；X-射线分析工作距离要求可变，其范围宽于8.5 mm-20 mm；探针电流宽于0.5 pA-5μA，并连续可调；配套EDS，出射角：35度，1000-100000CPS Mn ka谱峰宽化弱于1e
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