自动探针台(Auto Probing Machine)
上海华岭集成电路技术股份有限公司
TSK,UF3000EX-e
上海市
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检测范围

300mm测试探针台,最大工作误差小于2um,用于每片12英寸晶圆上的各个芯片的电信号的检测来保证半导体产品的品质。

仪器参数

最大晶圆300mm,最大误差2um,平台承重200kg,先进的光学识别系统
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