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ZYGOGPI-XP6 光学测试仪(ZYGOGPI-XP6)
上海市激光技术研究所
ZYGO公司，GPI-XP6
上海市
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物理测试

检测范围

本仪器的测量技术是基于激光的三维光学相移干涉技术，可测量各种光学表面3D表面轮廓精密测量、平面度、粗糙度等，适用于各种材料，包括玻璃、晶体、抛光金属、陶瓷及塑料等，非接触式、无损检测。

仪器参数

1.测量范围:152毫米(直径)；??????2.粗糙度测量重复精度:λ/10,000；??3.分辩率:优于λ/8,000(双光程)；??4.条纹分辩率:90条纹；??5.数字响应时间:低分辩率模式为140ms,高分辩率模式为260ms。
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