检测范围
该设备同时配备有能谱和电子背散射衍射模块，可广泛用于材料微区形貌、成分以及晶体微区取向等的研究。
仪器参数
日立SU3500是目前市场上钨灯丝扫描电镜中低电压分辨率最好的电镜之一，在3kV时分辨率可达7nm。SU3500可变压力模式允许对处于自然状态下的潮湿、油腻和非导电样品进行观察，电子束与空气分子相撞产生的正电荷可消除样品表面的多余电荷，因此不需要进行传统的干燥或镀膜等样品前处理过程。
分辨率30 kV时3 nm，3 kV时7 nm;
可拍摄自然状态下的潮湿、油腻和非导电性样品；
配有低真空二次电子探头，可拍生物样品；
同时配有牛津能谱仪和EBSD探头，可进行晶体微区取向等的研究
核心参数:
1、分辨率：30 kV时3 nm；3 kV时 7 nm
2、加速电压：0.3 – 30kV 连续可调
3、SEM放大倍数：5 – 300k倍（底片倍率＊5）；7 – 800k倍（显示器显示倍率＊6）
4、可变压力范围：6 – 650Pa
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