检测范围
该设备装有两个牛津X射线能谱仪，可广泛应用于微区形貌和成分分析。
仪器参数
GeminiSEM是Zeiss生产的一台全功能场发射扫描电子显微镜（FE-SEM），具有可变压力模式，在低电压状态下使用二次电子和背散射电子可以对样品进行高分辨率、高衬度和高信噪比的检测，即使要求苛刻的非导电样品也能获得清晰的图像；对任意样品进行高衬度和低电压成像，并使样品损伤降至最低。
高分辨率，15 kV时6 nm，1 kV时0.9 nm（借助减速模式）；
具有可变压力模式，可拍不导电性样品（不用镀膜）；
同时配有普通能谱（探头面积50 mm2）和超级能谱（探头面积100 mm2），可实现纳米颗粒（~20 nm）的成分检测，并可探测到轻元素，如Li、B等；
可提供喷金服务
核心参数:
1、分辨率：15 kV时0.6nm；1 kV时 0.9nm (借助串联减速功能选项)
2、加速电压：0.02-30 kV 连续可调
3、放大倍数： ×20-2,000K
4、探针电流：3pA-20nA
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