检测范围
扫描电镜可对金属、陶瓷、矿物、岩石、生物等样品以及各种固体材料进行观察和分析研究。X-射线能量色散谱仪，简称能谱仪(EDS)，可进行微区的常量元素定性和定量分析。 能谱分析方法制样简单，不损坏样品，是微区成分分析的有力工具。 附有X射线能谱仪的扫描电镜已广泛地应用
样品要求
固体样品
仪器参数
【主要技术指标】
放大倍数：5~300000
二次电子分辩率：3nm在30kV下(高真空模式)
背散射分辨率：4nm在30kV下(低真空模式)
【仪器功能及附件】
1) EX-250能谱仪，HORIBA公司
2) 低温样品台
3) 离子溅射仪
检测限：1%至99.9%
元素范围：Be至U
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