X射线光电子能谱仪(XPS)
30-500
3个工作日
所在地区:
  • 广东省
检测项目:
  • 表面分析
  • 弱磁性样品
  • UPS
  • 刻蚀
  • XPS
检测条件:
  • 含C6元素内
  • 消磁处理
  • 功函数+价带谱
  • 表面清理
  • 深度方向检测
  • 增加元素
  • 价带谱
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服务保障
请勿线下交易!90%的欺诈、纠纷、资金盗取均由线下交易导致。
  • 品       牌: 美国ThermoFisher 型       号: Nexsa
  • 样品回收: 收费回寄 前置处理: 不支持样品处理
  • 检测项目:
    表面分析、弱磁性样品、UPS、刻蚀、XPS
  • 检测条件:
    含C6元素内、消磁处理、功函数+价带谱、表面清理、深度方向检测、增加元素、价带谱

检测范围

XPS因其独有的元素化学态识别功能,广泛应用于固体物理学、材料科学、基础化学、催化科学、腐蚀科学、微电子技术、半导体、新能源等各个领域的材料与器件的检测分析。

样品要求

1.        样品为固体,无腐蚀性、无毒性、无挥发性、无放射性。
2.        样品含有硫或碘等卤族元素请务必填写或者提前告知,避免污染高真空系统。
3.        样品在超高真空及在X射线、紫外线、电子束或Ar离子束照射下应稳定,不分解、不释放气体。
4.        样品重量、尺寸要求:
        粉末样品不少于10 mg,量少请用称量纸包好再装到管子里寄送。
        块状/片状/薄膜:长宽厚不超出5mm × 5mm × 3 mm(磁性样品尽量小),超出此范围请提前联系,可能会酌情收取制样费。
        UPS样品尺寸不小于1 cm × 1 cm。
5.        样品数量多的,请务必编号,并拍照。
6.        对块状样品或薄膜样品的测试面做好标记,并拍照。
7.        测不了H和He元素,其他元素都可以测。
8.        强磁性样品可能无法测得主要元素的信号峰,或者信号较弱。一般含有铁、钴、镍、锰成分的样品,若不提前告知,默认按磁性样品进行退磁处理后再进样!
9.        含量低于5%的元素请务必注明。元素分布不均或者质量分数小于2%的元素可能测不出明显信号,不保证测试会出峰,因为含量太低。
10.        元素窄谱测试如有特殊要求请备注,没特殊说明默认测最强峰;若最强峰和其他元素的峰有重叠,默认测次强峰。如果需要增加扫描次数,请提前联系。
11.        计算元素数量时,不计算碳元素。同一元素如需测试多个轨道峰,请务必写出,并算作多个元素。
12.        样品应充分干燥。高分子样品在送样前应进行干燥处理。若含有高挥发性分子等请务必烘烤抽除。若需要我们干燥处理,请提前联系,将加收制样费。
13.        请勿用手触摸样品表面,会引入污染。制好样后请尽快密封,避免其他物质污染。
14.        XPS测试需要用导电双面胶把样品固定在样品上,测试过的粉末样品没法回收,块体样品回收可能会受到污染或者破坏,不保证样品完好,特别建议尽量不回收样品!
15.        关于测试结果的提供形式,默认只提供原始数据:VGP、EXCEL格式,未校准,未定量,未分峰。如有数据分析等其它需求,请提前联系,可能会酌情收取部分费用。
16.        测试周期: 收到样品后3~5工作日。如果需要加急,根据实际情况酌情加收50%~100%的加急费。

仪器参数

1、能量分辨率及灵敏度:
        能量分辨率≤0.5 eV
        在束斑大小为400 μm且光源功率≤80W的实验条件下,当Ag3d5/2峰的半高宽≤1.0eV时,计数率≥4,000,000 cps
2、电子能量分析器:
        128通道微通道板探测器
        能量扫描范围5eV-3000eV,最小能量步长3meV
        通过能为1-400eV,连续可调
3、X光源:
        微聚焦单色化光源,聚焦可获得最小束斑≤10 ?m
        束斑面积从10μm至400μm聚焦连续可调,步长不超过5?m
        光源最大功率150W
4、样品台:
        多轴样品台:X、Y、Z 方向移动,围绕Z轴旋转,由计算机全自动控制
        最大测试样品厚度不小于20 mm
        样品台带有束斑孔径、刀刃边、荧光物质、银和金的标准样品台,用于系统自动标定
5、自动化电子/离子中和源:
        带有同源双束中和枪,同时具备电子和离子中和能力,且电子及离子来源于同一中和源,可实现自动化精准电荷中和,无需单独调试某一样品
6、离子枪:
        用于深度刻蚀和表面清洁的氩离子源,计算机控制,在低束能下保持高通量,自动校准束斑、能量等参数
        能量范围:≥4000 eV
        最大束流:4 A
        离子能量3 keV,束流3.5 ?A时束斑不大于500 ?m
        离子束可控轴向旋转
        束斑可调,自动对中
7、角分辨XPS:
        角分辨XPS用精控步进马达样品托,角度分辨优于1°
        内置角分辨XPS数据处理功能,能实现膜厚计算等功能

仪器特色&服务特色

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